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產(chǎn)品中心

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大范圍線性運(yùn)動中空掃描臺
產(chǎn)品簡介

大范圍線性運(yùn)動中空掃描臺:超安靜運(yùn)動 納米級分辨率 ·全行程運(yùn)動中,保證通孔·XY一體式組合結(jié)構(gòu)·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器 ·斷電位置自保持 ·可與高精度壓電掃描臺堆疊組合

產(chǎn)品型號:Carrier系列
更新時(shí)間:2026-04-03
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:241
詳細(xì)介紹在線留言

大范圍線性運(yùn)動—Carrier.L1010.XY

產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· XY一體式組合結(jié)構(gòu)

· 全行程運(yùn)動中,保證通孔

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 可與高精度壓電掃描臺堆疊組合

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕對無磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

250 × 250 × 40 mm

3

主體材料

鋁合金 / 不銹鋼

4

運(yùn)動行程

100 × 100 mm

5

速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驅(qū)動力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大負(fù)載

4 kg

9

最小步伐(閉環(huán))

10 nm

10

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

11

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

2 nm (默認(rèn))

13

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:kapton漆包線,PEEK-D-Sub15

14

控制器規(guī)格

MC-Newton.S系列

大范圍線性運(yùn)動 — Carrier.L1010s.XY

產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動

· 納米級分辨率

· 緊湊設(shè)計(jì)

· XY一體式組合結(jié)構(gòu)

· 斷電位置自保持

· 全行程運(yùn)動中,保證通孔

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 可與高精度壓電掃描臺堆疊組合

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕對無磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

185 × 185 × 28 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版,.HV,.UHV ,.NM  鋁合金, 不銹鋼/陶瓷:2 kg

4

運(yùn)動行程

100 x 100 mm

5

速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驅(qū)動力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大負(fù)載

4 kg

9

最小步伐(閉環(huán))

10 nm

10

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

11

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

2 nm

13

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

14

控制器規(guī)格

MC-Newton.S系列

大范圍線性運(yùn)動 — Carrier.L7550s.XY

產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動

· 納米級分辨率

· 緊湊設(shè)計(jì)

· XY一體式組合結(jié)構(gòu)

· 斷電位置自保持

· 全行程運(yùn)動中,保證通孔

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 可與高精度壓電掃描臺堆疊組合

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕對無磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

140 × 125 × 28 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版,.HV,.UHV,.NM 鋁合金/不銹鋼:1.5 kg

4

運(yùn)動行程

75 × 50 mm

5

速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驅(qū)動力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大負(fù)載

4 kg

9

最小步伐(閉環(huán))

10 nm

10

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

11

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

2 nm

13

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

14

控制器規(guī)格

MC-Newton.S系列


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