六自由度并聯(lián)運動臺：超安靜運動納米級分辨率 ·斷電位置自保持·內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu) 高剛性系統(tǒng)

產(chǎn)品型號：Free6D.3-2.070

更新時間：2026-03-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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六自由度并聯(lián)運動臺 — Free6D.3-2.070

產(chǎn)品特色

· 超安靜運動

· 納米級分辨率

· 斷電位置自保持

· 并聯(lián)驅(qū)動結(jié)構(gòu)

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 高剛性系統(tǒng)

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.HV，高真空版本; .UHV，超高真空版本； .NM，*全無磁版本；
2	外形尺寸	?70 × 65 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版，.HV，.UHV 鋁合金，鋼：400 g；,NM 純鈦，陶瓷：600 g
4	*大垂直負載	300 g
5	運動行程 X，Y，Z	± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm
6	運動行程 θX，θY ，θZ *	± 16 °,± 13 °,± 26 °
7	單向重復(fù)精度 X，Y，Z *	± 0.15 μm，± 0.15 μm，± 0.1 μm
8	單向重復(fù)精度θX，θY，θZ	± 8 μrad，± 8 μrad，± 8 μrad
9	最小步伐 X，Y，Z	10 nm，10 nm，10 nm
10	最小步伐 θX，θY，θZ	1 μrad，1 μrad，1 μrad
11	傳感器類型	光學(xué)位置傳感器
12	位置傳感器分辨率	2 nm
13	線纜 & 接頭	默認：屏蔽線纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線，D-Sub15 (PEEK)
14	控制器規(guī)格	MC-Free6D

六自由度并聯(lián)運動臺 — Free6D.3-2.150